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超高精度氣浮龍門平臺
設備信息 FEATURES
設備參數 PARAMETER
技術指標 | 數據 |
負載(Kg) | X軸:20 Y軸:X軸自重+20 |
最大速度(mm/s) | X軸:800 Y軸:500 |
最大加速度(G) | X軸:0.7 Y軸:0.8 |
有效行程(mm) | X軸:500 Y軸:750 |
重復精度(μm) | X軸:±0.5 Y軸:±0.5 |
定位精度(μm) | X軸:±1 Y軸:±1 |
平面度(μm) | X軸:±0.75 Y軸:±0.75 |
直線度(μm) | X軸:±0.5 Y軸:±0.5 |
驅動方式 | X軸:直線電機 Y軸:直線電機 |
反饋方式 | X軸:光柵尺 Y軸:光柵尺 |
防塵方式 | X軸:上蓋板 Y軸:無 |