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高精度氣浮單軸模組1
設備信息 FEATURES
設備參數 PARAMETER
| 技術指標 | 數據 |
| 負載（Kg） | 30 |
| 最大速度（mm/s） | 700 |
| 最大加速度（G） | 1 |
| 有效行程（mm） | 500 |
| 重復精度（μm） | ±1 |
| 定位精度（μm） | ±2 |
| 平面度（μm） | ±1 |
| 直線度（μm） | ±0.75 |
| 驅動方式 | 直線電機 |
| 反饋方式 | 光柵尺 |
| 防塵方式 | 上蓋板 |
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