高精度單軸模組
設備信息 FEATURES
設備參數 PARAMETER
| 技術指標 | 數據 |
| 寬度（mm） | ≥220 |
| 有效行程（mm） | ≥200 |
| 最大速度（mm/s） | 1000 |
| 重復精度（μm） | ±2 |
| 定位精度（μm） | ±4 |
| 平面度 | ±3μm@300mm |
| 直線度 | ±2μm@300mm |
| 驅動方式 | 直線電機+高精度導軌 |
| 防塵方式 | 半封閉/全封閉 |
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